réacteur pour dépôt chimique en phase vapeur métallo-organique
- réacteur pour dépôt chimique en phase vapeur métallo-organique
- metaloorganinio junginio cheminio garinio nusodinimo reaktorius
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. metallo-organic chemical vapor deposition reactor
vok. metallorganischer chemischer Gasphasenabscheidungsreaktor, m
rus. реактор для химического осаждения металлоорганического соединения из паровой фазы, m
pranc. réacteur pour dépôt chimique en phase vapeur métallo-organique, m
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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